CIQ氣動超高真空蝶閥
CIQ氣動超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。碟閥經過兩次
動作完成關閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥門的壓強范圍可拓寬到2x105-1.3-7x10Pa.適用介質為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要技術性能
適用范圍： | 2x105~6.7-7x10Pa |
閥門漏率： | ≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向) |
適用溫度： | -30~ 150℃ |
安裝狀態： | 任意 |
安裝方向： | 任意 |
開啟壓差： | 2x105Pa. |
開門角度： | 0-90? |
啟閉時間： | 3S |
主要零件材料
閥體、蝶門、閥桿：不銹鋼
密封件：氟橡膠，波紋管（軸封）
外形及連接尺寸(mm)（GB6070）
型號 | DN(mm) | D | Do | D1 | B | H | B1 | n-Mc |
CIQ-63 | 63 | 130 | 110 | 68 | 40 | 235 | 62 | 4-M8 |
CIQ-80 | 80 | 145 | 125 | 85 | 40 | 240 | 62 | 8-M8 |
CIQ-100 | 100 | 165 | 145 | 105 | 40 | 240 | 62 | 8-M8 |
CIQ-160 | 160 | 225 | 200 | 165 | 56 | 310 | 75 | 8-M10 |
CIQ-200 | 200 | 285 | 260 | 208 | 70 | 360 | 75 | 12-M10 |
CIQ-250 | 250 | 335 | 310 | 258 | 74 | 396 | 75 | 12-M10 |
CIQ-320 | 320 | 425 | 395 | 328 | 94 | 488 | 94 | 12-M12 |
CIQ-400 | 400 | 510 | 480 | 410 | 106 | 538 | 114 | 16-M12 |
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