福州晶圓防爆真空固化爐

產(chǎn)品用途：本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱溫度最高可達(dá)450℃

性能特點(diǎn)：

1、真空度可達(dá)10 Pa

2、精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測(cè)接口

3、日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4、內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號(hào)：   ZK-固化系列                                 

內(nèi)箱尺寸：20*20*40       ；30*30*60

控溫范圍：RT 20℃~450℃

溫度波動(dòng)：?0.5℃

真 空  度：10pa

氧 含  量：≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì):  SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì):  鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料: 硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護(hù)裝置: 聲光報(bào)警器 超溫保護(hù)器 Audible and visual alarm, Over Temp

功      率: 　9.0    12.0

電      源: AC380V?10%3中50HZ