Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時(shí)運(yùn)行時(shí)也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點(diǎn)
1. 清潔無油, 大抽速
2. 免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)
3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動(dòng)
4. 可任意角度安裝

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feiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)

MT 型號(hào)的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制. 其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時(shí)作用, 可以確保泵的工作溫度相對(duì)恒定 (最高工作溫度75?C), 同時(shí)最小化過程化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積.
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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