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Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達(dá) 1250 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對(duì)各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒. 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級(jí) IP54. 通過控制器, 監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)保證分子泵的最大安全性. 渦輪分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 渦輪分子泵 HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠(yuǎn)程遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）, 多種配件供客戶選擇.
渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對(duì)各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, T?V 認(rèn)證
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的最高運(yùn)行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90? 或 90-180?
提供抗腐蝕型號(hào)
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200 技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | HiPace 1200 TC 1200 | HiPace 1200 TC 1200 | HiPace 1200 TC 1200 |
Ar 壓縮比 | >1X108 | >1X108 | >1X108 |
H2 壓縮比 | 6X103 | 6X103 | 6X103 |
He 壓縮比 | 2X104 | 2X104 | 2X104 |
N2 壓縮比 | >1X108 | >1X108 | >1X108 |
最大預(yù)抽真空, N2 hPa | 2 | 2 | 2 |
Ar全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s | 11 | 11 | 6 |
H2 全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s | >30 | >30 | >30 |
He全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s | >30 | >30 | 16 |
N2 全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s | 20 | 20 | 16 |
操作電壓 V AC | 100-120 / 200-240 | 100-120 / 200-240 | 100-120 / 200-240 |
最大電流 A | 10 | 10 | 10 |
允許最大磁場(chǎng) mT | 6 | 6 | 6 |
Ar抽速l/s | 1200 | 1200 | 1200 |
H2 抽速l/s | 1100 | 1100 | 1100 |
He 抽速 l/s | 1300 | 1300 | 1300 |
N2 抽速l/s | 1250 | 1250 | 1250 |
轉(zhuǎn)速 ? 2 % rpm | 37800 | 37800 | 37800 |
啟動(dòng)時(shí)間 min | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
極限真空 hPa | 1X10-7 | 1X10-7 | 5X10-10 |
重量 kg | 29.5 | 30.5 | 40.9 |
標(biāo)準(zhǔn)款渦輪分子泵 HiPace 1200 在售型號(hào)
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒
進(jìn)氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 200 ISO-K | 另配 TCP 1200 | TCP 1200 | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-F | 另配 TCP 1200 | TCP 1200 | - | 中文 PDF |
DN 200 CF-F | 另配 TCP 1200 | TCP 1200 | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-K | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-F | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
DN 200 CF-F | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-K | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-F | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 200 CF-F | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-K | TC 1200 | E74, RS-485 | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-F | TC 1200 | E74, RS-485 | - | 中文 PDF |
DN 200 CF-F | TC 1200 | E74, RS-485 | - | 中文 PDF |
渦輪分子泵 HiPace 1200 U 在售型號(hào)
安裝位置:高架 (90?-180?)
進(jìn)氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 200 ISO-K | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
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DN 200 CF-F | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
DN 200 ISO-K | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus | - | 中文 PDF |
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DN 200 ISO-K | TC 1200 | E74, RS-485 | - | 中文 PDF |
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耐腐蝕渦輪分子泵 HiPace 1200 C 在售型號(hào)
專為腐蝕性氣體而設(shè)計(jì), 帶有附有涂層轉(zhuǎn)子和耐腐蝕性氣體的工作流體, 非常適用于腐蝕性氣體應(yīng)用
進(jìn)氣口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成電源包 | 資料下載 |
DN 200 ISO-K | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
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耐腐蝕, 90?-180?安裝位置渦輪分子泵 HiPace 1200 UC 在售型號(hào)
耐腐蝕,安裝位置:高架 (90?-180?)
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DN 200 ISO-K | TC 1200 | RS-485, 遠(yuǎn)程 | - | 中文 PDF |
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分子泵應(yīng)用 HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質(zhì)涂層, 卷繞鍍膜, 光學(xué)鍍膜, CD / DVD / PVD
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 聚變研究, 等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學(xué), 生物技術(shù)
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, MBE
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