渦輪分子泵應(yīng)用于  OLED 鍍膜機(jī)
上海伯東某專業(yè)從事 OLED 設(shè)備制造商, 經(jīng)過(guò)伯東推薦該設(shè)備真空系統(tǒng)配置 Pfeiffer 分子泵  HiPace 700 , 雙級(jí)旋片泵 DUO 35 和美國(guó) HVA 插板閥, 成功替換此設(shè)備原先使用的日本低溫泵. 此款 OLED 設(shè)備適用于有機(jī)半導(dǎo)體照明客戶.
OLED 設(shè)備基本技術(shù)要求如下:
1.  腔體體積: 約 150 L 左右
2.  極限真空度: 1 x 10-7 mbar
3.  30 分鐘 – 1 小時(shí)內(nèi)達(dá)到 5 x 10-5 mbar
4.  Gas: Ar, O2

真空系統(tǒng)配置

此類  OLED 鍍膜機(jī), 用加熱使材料蒸發(fā)的方法, 在襯底上沉積各種化合物, 混合物單層或多層膜. 主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn), 上海伯東 Pfeiffer HiPace 系列分子泵搭配 DuoLine 雙級(jí)旋片泵是其理想的選擇! 

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