低溫等離子設備是利用等離子原理進行環境治理，低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質四態,當外加電壓達到氣體的放電電壓時,氣體被擊穿,產生包括電子各種離子原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高,但重粒子溫度很低,整個體系呈現低溫狀態,所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,使污染物分子在很短的時間內發生分解,并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

低溫等離子設備技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生很大的危害;另外工業煙氣的無控制排放使大氣環境日益惡化，降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此,順應了當前形勢。

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