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臨港 半導體涂層,哈拉粉末涂層加工,PFA白色耐腐蝕涂層,半導體 研磨盤,CHU

價格:面議瀏覽:93次聯系:吳笛 / 13061803373 / 13061803373企業:上海涓微新材料科技有限公司留言店鋪收藏

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超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 優秀防腐性 需要有優秀的耐酸堿性能, 抵御各類強酸強堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
產品案例
8/12寸晶圓花籃由于強度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進行防護,同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉運臂
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 純度:PPB級 
厚度:100-800?m 
耐酸:濃酸 強酸
硬度:4H
顏色:黑色,白色,透明

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