伺服閥的故障常常在電液伺服系統(tǒng)調(diào)試或工作不正常情況下發(fā)現(xiàn)的。所以這里有時是系統(tǒng)問題包括放大器、反饋機構(gòu)、執(zhí)行機構(gòu)等故障，有時確是伺服閥問題。所以首先要搞清楚是系統(tǒng)問題、還是伺服閥問題。解決這疑問的常用辦法是：一、有條件的將閥卸下，上實驗臺復(fù)測一下即可。二、大多數(shù)情況無此 條件，這時一個簡單的辦法是將系統(tǒng)開環(huán)，備用獨立直流電源、經(jīng)萬用表再給伺服閥供正負(fù)不同量值電流，從閥的輸出情況來判斷閥是否有毛病，是什么毛病。閥問題不大，再找系統(tǒng)問題，例如：執(zhí)行機構(gòu)的內(nèi)漏過大，會引起系統(tǒng)動作變慢，滯環(huán)嚴(yán)重、甚至不能工作；反饋信號斷路或失常等等，放大器問題有輸出信號畸變或不工作，系統(tǒng)問題這里不祥談，下面主要談?wù)勯y的故障。
（1）閥不工作
    原因有：馬達線圈斷線，脫焊；還有進油或進出油口接反。再有可能是前置級堵塞，使得閥芯正好卡在中間死區(qū)位置，閥芯卡在中間位置當(dāng)然這種幾率較少。馬達線圈串聯(lián)或并聯(lián)兩線圈接反了，兩線圈形成的磁作用力正好抵消。
（2）閥有一固定輸出，但已失控
    原因：前置級噴嘴堵死，閥芯被贓物卡著及閥體變形引起閥芯卡死等，或內(nèi)部保護濾器被贓物堵死。要更換濾芯，返廠清洗、修復(fù)。
（3）閥反應(yīng)遲鈍、響應(yīng)變慢等
    原因：有系統(tǒng)供油壓力降低，保護濾器局部堵塞，某些閥調(diào)零機構(gòu)松動，及馬達另部件松動，或動圈閥的動圈跟控制閥芯間松動。系統(tǒng)中執(zhí)行動力元件內(nèi)漏過大，又是一個原因。此外油液太臟，閥分辨率變差，滯環(huán)增寬也是原因之一。
（4）系統(tǒng)出現(xiàn)頻率較高的振動及噪聲
    原因：油液中混入空氣量過大，油液過臟；系統(tǒng)增益調(diào)的過高，來自放大器方面的電源噪音，伺服閥線圈與閥外殼及地線絕緣不好，是通非通，顫振信號過大或與系統(tǒng)頻率關(guān)系引起的諧振現(xiàn)象，再則相對低的系統(tǒng)而選了過高頻率的伺服閥。
（5）閥輸出忽正忽負(fù)，不能連續(xù)控制，成“開關(guān)”控制。
    原因：伺服閥內(nèi)反饋機構(gòu)失效，或系統(tǒng)反饋斷開，不然是出現(xiàn)某種正反饋現(xiàn)象。
（6）漏油
    原因：安裝座表面加工質(zhì)量不好、密封不住。閥口密封圈質(zhì)量問題，閥上堵頭等處密封圈損壞。馬達蓋與閥體之間漏油的話，可能是彈簧管破裂、內(nèi)部油管破裂等。
    伺服閥故障排除，有的可自己排除，但許多故障要將閥送到生產(chǎn)廠，放到實驗臺上返修調(diào)試，再強調(diào)一遍：不要自己拆閥，那是很容易損壞伺服閥零部件的。
    用伺服閥較多的單位可以自己裝一個簡易實驗臺來判斷是系統(tǒng)問題還是閥的問題，閥有什么問題，可否再使用。