潔凈室的分類形式

( 一 ) 亂流式


1)空氣由空澗箱經風管與潔凈室內的空氣過濾器進人潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。


2)氣流非直線塑運動，而呈不規則的亂流或渦流狀態，


3 )此形式適用于潔凈室等級為1000-100000級


4 )亂流式的優點


①構造簡單。


②系統建造成本低。


③潔凈室的擴充比較容易^


④在某些特殊用途場所。


⑤可并用無塵工作臺D


⑥提高潔凈室等級。


5)亂流式的缺點


①亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。


②若系統停止運轉后再激活，欲達需求的潔凈度.往往需耗時相當長的一段時間。


(2 )層流式層流式潔凈室空氣氣流運動成一均勻的直線形。空氣由覆蓋率100% 的過濾器進人室內.并由髙架地板或兩W隔墻板0 風。此形式適用于潔凈室等級需求較髙的環境使用，一般其潔凈室等級為1 -100級。(參考潔凈室：iwuchen/)


( 二 ) 水平層流式


①水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室


外，一般在下流側污染較嚴重。


②水平層流式的優點：構造簡單.運轉后短時間內即可變成穩定^


③水平層流式的缺點：建造費用比亂流式高.室內空間不易擴充。


垂直層流式


①房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹。


②可得到較高的潔凈度.在制造過程中或工作人員所產生的塵埃可快速推出室外而不


會影晌其他工作區域&


③垂直層流式的優點


a.彈性擴充容易。


b .運轉開始短時間內即可達穩定狀態。


c .不易為作業狀態或作業人員所影響。


④垂直層流式的缺點


a.構造費用較高。


b .彈性運用空間困難。


c.頂的吊架相當占空間。


d.維修更換過濾器較麻煩。


(三) 復合式


復合式為將亂逋式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。


1)潔凈隧道


①以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋，使潔凈度等級提高至丨0 級以上，可節省安裝運轉費用.


②此形式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質.ULSI制程大都采用此種形式。


③潔凈隧道的優點


a .彈性擴充容易。


b .維烽設備時可在維修區輕易執行。


2)潔凈管道


①將產品流程經過的自動生產線包闈并凈化處琿，將潔凈度等級提至100級以上。


②因產品和作業員以及發塵環境相互隔離，少馕的送風即可得到良好的潔凈度。


③可節省能猓.不需人工的自動化生產線為最適宜使用。


④藥品、食品業界及半導體業界均適用.


3 )并裝局部潔凈室


①將潔凈室等級10000?100000的亂淹潔凈室內產品制程區的潔凈度等級提高為10-1000級以上，為生產之用。


②潔凈工作臺、潔凈工作棚，潔凈風柜即屬此類.


③潔凈工作臺潔凈等級為1--100級。


④潔凈工作擁潔凈工作為在亂流式的潔凈室空間內以防靜電的透明塑料布圍成小空間，采用獨立的HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級的潔凈空間.其等級為10 - 1000級.高度在2. 5m左右，覆蓋面積約10m3以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。