氣體質量流量計是真正的直接式質量流量計，不必對壓力溫度進行補償。影響氣體質量流量計的因素有很多，常見的影響如下：
1、壓力
在加氣機中使用的CMF測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠遠大于大氣壓。高壓改變了振動管的內應力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減小；氣體流經振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。
2、流速
壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質量流量正比，因此流速的補償可以轉化為流量變化的非線性因素進行補償。
3、溫度
用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮；介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。
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