與傳統的機械加工一樣，機床本身的各種誤差，工件和工具電極的定位、安裝誤差都會影響到電火花加工的精度。另外，與電火花加工工藝有關的主要因素是放電間隙的大小及其一致性、工具電極的損耗及其穩定等。電火花加工時工具電極與工件之間放電間隙大小實際上是變化的，電參數對放電間隙的影響非常顯著，精加工放電間隙一般只有0.01mm（單面），而粗加工時則可達0.5mm以上。目前，電火花加工的精度為0.01~0.05mm。
電火花加工時，可以通過修正電極的尺寸對放電間隙進行補償，以獲得較高的加工精度。然而，放電間隙的大小實際上是變化的，影響著加工精度。
1.表面粗糙度
電火花加工表面的粗糙度取決于放電蝕坑的深度及其分布的均勻程度，只有在加工表面產生淺而分布均勻的放電蝕坑，才能保證加工表面有較小的粗糙度值。為了控制放電凹坑的均勻性，需要采用等能量放電脈沖控制技術，即檢測間隙電壓擊穿下降沿，控制放電脈沖電流寬度相等，用相同的脈沖能量進行加工，從而使加工表面粗糙度微觀上均勻一致。
2.加工間隙(側面間隙)的影響
加工間隙的大小及其一致性直接影響電火花成形加工的加工精度。只有掌握每個規準的加工間隙和表面粗糙度的數值，才能正確設計電極的尺寸，決定收縮量，確定加工過程中的規準轉換。
3.加工斜度的影響
在加工中，不論型孔還是型腔，側壁都有斜度，形成斜度的原因，除電極側壁本身在技術要求或制造中原有的
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