氧氣在線分析儀工作原理主要有三種： 氧化鋯氧分析儀、 燃料電池式氧分析儀、 電化學式氧分析儀。
到測量單位大不相同，氧化鋯氧分析儀是10ppm~100％； 燃料電池式氧分析儀是1ppm～25％； 電化學式氧分析儀是1ppb~25％。
在工業控制過程中一般都是對微量氧進行測量，工藝過程中的氧含量一般都極低，通常1ppm（1000ppb）以下，為保證生產安全需要加裝氧含量分析儀，把測得氧含量數據實時傳送到中控室的工藝控制中心。
在對應的工藝車間也要監測氧氣的含量，氧氣過低工人進去可就危險了，長時間在缺氧或欠氧環境下工作不會有什么好事發生的。這種環境通常要氧含量保持在21％左右，低于19％就得需要特別注意了，氧含量高了人會感覺比較舒服，好比孕婦經常吸氧……。
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