OVC 2025武漢國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與電子技術(shù)博覽會同期舉辦:2025“中國光谷”國際光電子博覽會2025年5月15日-17日武漢?中國光谷科技會展中心
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萬維克林作為半導(dǎo)體行業(yè)裝備制造公司,涉及集成電路、MEMS、研究所及高校等領(lǐng)域,主要從事附屬濕法清洗設(shè)備、工藝制程濕法設(shè)備、全自動晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)以及廠務(wù)配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,且已獲得國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定,公司愿景是成為有擔(dān)當(dāng)有影響力的半導(dǎo)體企業(yè),以客戶為中心,全方位解決客戶的需求,致力于為半導(dǎo)體裝備行業(yè)提供整體技術(shù)解決方案。
所在領(lǐng)域:集成電路、MEMS、研究所及高校等領(lǐng)域
主營產(chǎn)品:單片濕法設(shè)備、槽式濕法設(shè)備(12/8寸)、FOUP Cleaner、Parts Clean
展位號:B305
展品介紹
槽式濕法設(shè)備(12/8寸)、FOUP Cleaner
設(shè)備特點(diǎn):干進(jìn)干出,兼容性高,定制性強(qiáng)。人工分離清洗工件及更換工裝(不同的清洗產(chǎn)品配有不同的工裝)
清洗功能:UPW清洗 Hot UPW清洗 表面活性劑清洗(可選)
清洗形式:旋轉(zhuǎn)式內(nèi)外噴淋自動清洗,360?清洗無死角,可正、反旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
干燥形式:IR烘干 旋干 CDA/N2吹掃
控制形式:PLC 觸摸屏控制(一鍵式操作),可預(yù)設(shè)多條Recipe,操作簡潔(選配SECS/GEM接口)
安全性能: 工裝到位檢測、防呆設(shè)計、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)振動監(jiān)測、漏液檢測等配備齊全
可靠性能: ①ULPA高效過濾器≥99.9995%@(0.1-0.2)um。②靜電離子消除。③掃碼系統(tǒng)(選配)
展會介紹
2025 中國光谷?光電子信息產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展大會暨武漢國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與電子技術(shù)博覽會(OVC 2025)將于2025年5月15日-17日在武漢?中國光谷科技會展中心召開,集中展示集成電路、電子元器件、半導(dǎo)體/芯片、顯示技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)、傳感器、連接器、無線、電源、測試技術(shù)、電子材料、半導(dǎo)體制造裝備、智能硬件、生產(chǎn)設(shè)備和行業(yè)解決方案,屆時組委會將邀請國內(nèi)外半導(dǎo)體、工業(yè)電子、汽車電子、醫(yī)療電子、物聯(lián)網(wǎng)、消費(fèi)電子、通信等行業(yè)數(shù)萬名專業(yè)工程師采購參觀。2025年,期待與您相約武漢,攜手共拓電子產(chǎn)業(yè)新機(jī)遇!
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