產品描述

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 KDC 10, 寬束離子源,最小型號的離子源, 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用于已知的所有離子源應用.

離子束流: >10 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.

加熱燈絲產生電子, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.

無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計.

美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 10 技術參數：

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數：

離子源型號	離子源 KDC 10
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>10 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	1 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	1-5 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	11.5 cm
直徑	4 cm
中和器	燈絲

美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 10 應用領域：

伯東KRI 考夫曼離子源 KDC 10 應用領域：

1. 離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP

2. 濺鍍和蒸發鍍膜 PC

3. 輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD

4. 表面改性, 激活 SM

5. 離子濺射沉積和多層結構 IBSD

6. 離子蝕刻 IBE