Temptronic ThermoChuck 技術參數：一、晶圓尺寸：150 和 200 mm
ThermoChuck 型號 | 溫度范圍?C | 冷卻 | 加熱 |
TP03000A | -65 to 200?C | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 熱電 |
TP03010A | 20 to 200?C | 風冷/水冷* | 熱電 |
TP03010B | 0 to 200?C | Closed loop glycol/water cooling | 熱電 |
TP03015A | 30 to 200?C ( 300?C optional) | 風冷/水冷* | 電阻 |
TP03015B | 30 to 200?C ( 300?C optional) | Closed loop glycol/水冷 | 電阻 |
電壓 115V或 220V
* 用戶提供冷卻介質
二、晶圓尺寸：300 mm
ThermoChuck 型號 | 溫度范圍?C | 冷卻 | 加熱 |
TP03500A | -55 to 200 | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 電阻 |
TP03500D | 20 to 200 | Open loop air cooling with Vortex* | 電阻 |
TP03500E | 30 to 200 | Open loop air cooling* | 電阻 |
電壓 220V
* 用戶提供冷卻介質
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