釔鐵石榴石鐵氧體 (YIG) 是一種在室溫中廣泛應(yīng)用的亞鐵磁性材料, 由于其鐵磁共振線寬窄、電阻率高、高頻損耗小以及具有較高的法拉第旋光效率和較低的傳播損耗, 是一種具有潛在應(yīng)用價(jià)值的磁性材料, 不僅應(yīng)用于現(xiàn)代電子工業(yè)及信息產(chǎn)業(yè)的微波器件中,如環(huán)形器、隔離器等,而且在非互易波導(dǎo)器件、集成光學(xué)器件和磁光記憶領(lǐng)域都擁有巨大的應(yīng)用前景, 因此被廣泛研究.

陜西某實(shí)驗(yàn)室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220  射頻磁控濺射沉積方法在 SrTiO3基片上制備 YIG 薄膜, 研究不同濺射參數(shù)對(duì)薄膜表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)和磁性能的影響.

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

射頻磁控濺射法是制備磁性薄膜最為常用的方法之一, 其優(yōu)點(diǎn)是沉積溫度低,可以獲得均勻致密、大面積的薄膜,沉積過程中通過調(diào)節(jié)濺射功率、濺射氣壓、氧氬比和濺射時(shí)間等參數(shù),從而改變薄膜厚度、晶粒尺寸, 得到高性能的薄膜材料.

結(jié)果表明:

在其他濺射參數(shù)不變的情況下, 薄膜的厚度隨濺射時(shí)間成正比增長; 在襯底溫度為500℃、濺射氣壓為1 Pa時(shí), YIG 薄膜表面較致密, 晶粒大小均勻; 沉積薄膜的化學(xué)組分受氧分壓的影響較大, 與靶材成分相比有一定偏差. 濺射氣體為純氬氣時(shí), YIG 薄膜的化學(xué)組分與靶材化學(xué)計(jì)量比接近, 制備的YIG薄膜中存在一定量的 Fe2 和氧空位; 當(dāng)退火溫度為 750℃ 時(shí), 在氧氣中熱處理 40 min, 形成純的 YIG 相,飽和磁化強(qiáng)度為134emu/cm3.

KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的.

因此,  該研究項(xiàng)目才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

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