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Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板

價格:面議瀏覽:187次聯(lián)系:張婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企業(yè):伯東貿(mào)易(深圳)有限公司留言店鋪收藏

某印制板線路板生產(chǎn)工廠采用伯東 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 將覆銅板上不需要的銅蝕刻掉, 將需要保留的銅保留下來.

 

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 技術(shù)參數(shù):

Model

MEL3100

Wafer size

3"~6"

Wafer per batch

1 wafer

Cassette No.

25 wafers

Cassette Q'ty

1pc.

Throughput

10 (wafer/hr) *1

Pressure Ultimate

8?10-5 (Pa) *2

Pressure Process

2?10-2 (Pa) *2

Etching Rate

>10 (nm/min)@SiO2 *3

Etching Uniformity

?5%@132mm (6") *3

Wafer surface temp.

<100℃ *3

Stage rotating

1~20 (rpm) ?5%

Stage tilting

?90??0.5?

*1: Estimated process time 5min

*2: No wafer on stege / process chamber

*3: Depending on process

 

該工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 的主要原因:

1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量

2. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

3. 占用空間小

4. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

5. 高冷卻效果

6. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

7. 快速響應時間和本地服務能力, 減少停機時間的工具

 

工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 運行結(jié)果:

1. 提高蝕刻過程的均勻性

2. 提高精密程度, 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)工藝能力

3. 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)率, 降低勞動強度, 保證生產(chǎn)的連續(xù)性

 

若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
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