某印刷電路板制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于刻蝕印刷電路板局部表面去除污染物.
.jpg)
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數
Φ4 inch X 12片 | 基片尺寸 | Φ4 inch X 12片 Φ5 inch X 10片 Φ6 inch X 8片 |
均勻性 | ?5% | |
硅片刻蝕率 | 20 nm/min | |
樣品臺 | 直接冷卻,水冷 | |
離子源 | Φ20cm 考夫曼離子源 |
Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 搭配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220
.jpg)
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:
離子源型號 | RFICP 220 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >800 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 20 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 10-40 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 30 cm |
直徑 | 41 cm |
中和器 | LFN 2000 |
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 有效針對所需區域進行蝕刻, 并避免印刷電路板全面性蝕刻產生的導線暴露于空氣中發生的短路異常現象.
若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺灣伯東 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490 F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076 M: 886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權所有, 翻拷必究!
業務咨詢：932174181 媒體合作：2279387437 24小時服務熱線：15136468001 盤古機械網 － 全面、科學的機械行業免費發布信息網站 Copyright 2017 PGJXO.COM 豫ICP備12019803號
.jpg)