上海伯東代理進口高真空電子束蒸發系統, 薄膜均勻性：≤?2％, 助力科研創新！
上海伯東代理高真空電子束蒸發系統, 薄膜均勻性：≤?2％, 喜獲高校訂單, 助力科研創新, 適用于光學材料研究 (LED / Laser Diode), 光電元件, 半導體元件.

高真空電子束蒸發系統 性能指標
基座可公轉旋轉, 最高轉速20 rpm，5～20 rpm可調
乘載盤承載最大4英吋樣品(可放小于4吋的樣品或破片)
鍍膜均勻性: 4英寸范圍內薄膜厚度均勻性優于?2%
極限真空度優于 3 ? 10-7 Torr
抽氣效率：atm to 3　?　10-6 Torr < 25min
                 atm to 5　?　10-7 Torr < 55min
電子束蒸發源 ? 1，坩堝容量：分子7 cc，坩堝數量4，自動旋轉坩堝，電子束可掃描
6 kW電子束蒸發源電源 ? 1

上海伯東代理電子束蒸發鍍膜設備 E-Beam Deposition Evaporation, 可針對量產使用單一坩堝也可以有多個坩堝來達到產品多層膜結構, 電子束蒸鍍設備可以結合美國 KRi 離子源進行離子輔助沉積或者預清潔等功能. 滿足客戶實際應用!

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上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
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