壓力傳感器 MENS 是由微加工技術(shù)制備, 特征結(jié)構(gòu)在微米尺度 1um~0.1mm 范圍 ，集成有微傳感器, 微致動(dòng)器, 微電子信號(hào)處理與控制電路等部件的微型系統(tǒng). 80%以上的 MENS 采用硅微工藝進(jìn)行制作, 并且需要在特定壓力之下快速進(jìn)行不同溫度點(diǎn)的性能測(cè)試. 上海伯東美國(guó) inTEST 熱流儀搭配壓力機(jī)作為一種常用溫度測(cè)試手段, 廣泛應(yīng)用于 MENS 性能測(cè)試.

壓力傳感器 MENS 高低溫測(cè)試方法：
1. 將器件放在壓力機(jī)里面
2. 啟動(dòng) inTEST ATS-545 高低溫沖擊機(jī)加熱至需要測(cè)試的溫度點(diǎn)
3. 調(diào)節(jié)壓力機(jī), 設(shè)定壓力值
4. 使用儀器測(cè)試微電感器件在該溫度下的參數(shù)
5. 調(diào)節(jié)需要溫度點(diǎn), 重復(fù) 2, 3, 4這三個(gè)操作, 記錄數(shù)據(jù)

inTEST ATS-545 熱流儀技術(shù)參數(shù)

與傳統(tǒng)高低溫實(shí)驗(yàn)箱, 溫濕度測(cè)試箱對(duì)比, inTEST ThermoStream 熱流儀主要優(yōu)勢(shì)：
1. 變溫速率更快
2. 溫控精度：?1℃
3. 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)待測(cè)元件真實(shí)溫度, 可隨時(shí)調(diào)整沖擊氣流溫度
4. 針對(duì) PCB 電路板上眾多元器件中的某一單個(gè) IC (模塊), 可單獨(dú)進(jìn)行高低溫沖擊, 而不影響周邊其它器件
5. 對(duì)測(cè)試機(jī)平臺(tái) load board上的 IC 進(jìn)行溫度循環(huán) / 沖擊; 傳統(tǒng)高低溫箱無(wú)法針對(duì)此類測(cè)試.
6. 對(duì)整塊集成電路板提供精確且快速的環(huán)境溫度.

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