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伯東KRI射頻離子源 RFICP 380 持續(xù)轟擊 TiN 薄膜獲得更優(yōu)秀性能

價格:面議瀏覽:184次聯(lián)系:張婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企業(yè):伯東貿易(深圳)有限公司留言店鋪收藏

在制備 TiN 薄膜過程中, 離子持續(xù)轟擊對 TiN 薄膜的結構和性能影響很大, 在離子持續(xù)轟擊作用下能夠獲得性能優(yōu)異的TiN薄膜.

 

為了獲取性能優(yōu)異的 TiN 薄膜, 國內某制造商采用伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 對 TiN 薄膜進行持續(xù)轟擊. 工作系統(tǒng)簡單示意如下圖:

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術參數:

射頻離子源型號

RFICP 380

Discharge 陽極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

 

應用結果:通過使用 伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 持續(xù)轟擊 TiN 薄膜, 備的TiN 薄膜具有更致密的結構, 更光滑的表面, 更好的結晶性, 更優(yōu)異的機械性能和更好的腐蝕性能.

其使用前(左)和使用后(右)對比圖如下:

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
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