韩国精品一区二区三区无码视频,国产午夜福利视频在线观看,永久黄网站色视频免费无下载,色婷婷av一区二区三区浪潮

【請登錄】【免費注冊】

首頁新聞技術產品供應二手培訓展會物流維修求購招商招標招聘企業

供應

搜索
產品信息產品篩選產品類型大全供應信息求購信息二手設備生產銷售企業
您的位置:盤古機械網>供應信息>供應詳情

Aston? 質譜分析儀應用于沉積和刻蝕3D NAND 存儲器

價格:面議瀏覽:176次聯系:張婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企業:伯東貿易(深圳)有限公司留言店鋪收藏

3D NAND 工藝通過堆疊存儲單元, 提供更高的比特密度, 上海伯東日本 Atonarp Aston? 質譜分析儀適用于先進半導體工藝(如沉積和蝕刻)所需的定量氣體分析. 沉積應用中:  實時過程氣體監控,以驅動自動化工具調整以實現過程控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程; 蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔.
Aston? 質譜分析儀應用于沉積和刻蝕3D NAND 存儲器

3D NAND 工藝概述

工藝步驟

 

3D NAND 存儲器

3D NAND 存儲器

3D NAND 存儲器

 

 

堆疊沉積: 交替氧化物(藍色)和氮化物(綠色)薄膜沉積(每個堆疊 >200 對)

 

通道蝕刻: 沉積硬掩模, 形成開口, 高縱橫比通道貫穿所有層(每個晶片>1 萬億個孔)

 

階梯蝕刻: 字線的接觸焊盤是使用產生階梯結構的受控蝕刻來創建的.

 

ASTON 優勢

 

均勻的厚度對電氣性能至關重要. Aston? 質譜分析儀可實現厚度控制, 層定義和化學計量工程.

 

高縱橫比通道孔需要從上到下完整且均勻, 沒有彎曲或扭曲. Aston? 質譜能夠在腔內測量蝕刻反應物.

 

蝕刻輪廓控制精度(埃). 蝕刻深度能力(微米).
Aston? 質譜儀通過動態測量化學物質來實現蝕刻

 

工藝步驟

 

3D NAND 存儲器

3D NAND 存儲器

3D NAND 存儲器

 

 

狹縫蝕刻: 沉積硬掩模層, 形成硬開口圖案, 蝕刻狹縫以分離通道孔列. 這將創建一個存儲單元陣列.

 

字線沉積: 在一些 3D NAND 方案中, 去除氮化物層, 然后使用由內向外的原子層沉積工藝(紫色)創建鎢字線.

 

晶圓上最終 3D NAND 結構的橫截面

 

 

ASTON優勢

 

Aston? 質譜儀通過連續測量反應物來實現蝕刻的均勻性和精度.

 

去除氮化層并填充鎢. Aston? 質譜儀實現了分子水平的控制.

 

 

來源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM
 

Aston? 質譜儀優勢
ppb 級靈敏度的高速采樣
非常適合高縱橫比的 3D 結構
耐腐蝕性氣體, 堅固緊湊
易于集成到工具平臺中
沉積應用中:  實時過程氣體監控,以驅動自動化工具調整以實現過程控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程
蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔
 

Atonarp  Aston? 質譜分析儀技術參數

類型

Impact-300

Impact-300DP

Plasma-200

Plasma-200DP

Plasma-300

Plasma-300DP

型號

AST3007

AST3006

AST3005

AST3004

AST3003

AST3002

質量分離

四級桿

真空系統

分子泵

分子泵
隔膜泵

分子泵

分子泵
隔膜泵

分子泵

分子泵
隔膜泵

檢測器

FC /SEM

質量范圍

2-285

2-220

2-285

分辨率

0.8?0.2

檢測限

0.1 PPM

工作溫度

15-35“℃

功率

350 W

重量

15 kg

尺寸

299 x 218 x 331 LxWxH(mm)

400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯東版權所有, 翻拷必究!

此會員其它供應

業務咨詢:932174181   媒體合作:2279387437    24小時服務熱線:15136468001 盤古機械網 - 全面、科學的機械行業免費發布信息網站 Copyright 2017 PGJXO.COM 豫ICP備12019803號

主站蜘蛛池模板: 少妇夜夜春夜夜爽试看视频| 国产乱xxxxx97国语对白| 色老久久精品偷偷鲁| 中日韩高清无专码区2021| 福利一区二区三区视频在线观看| 无码av中文字幕免费放| 亚洲福利国产网曝| 末发育娇小性色xxxxx视频| 少妇富婆高级按摩出水高潮| 国产一码二码三码区别| 亚洲成αv人片在线观看| 日本成熟少妇激情视频免费看| 日韩av无码一区二区三区不卡毛片| 久久精品中文字幕一区| 男人的天堂免费一区二区视频| 在线观看免费无码专区| 色偷偷色噜噜狠狠成人免费视频| 色欲aⅴ亚洲情无码av| 国产成人三级一区二区在线观看一| 在线无码av一区二区三区| 柠檬福利第一导航在线| 无码一区二区三区av免费| 中文字幕人妻一区二区三区| 国产av综合影院| 国产精品天干天干| 伊人久久大香线蕉午夜| 国产免费无码av在线观看| 色一情一乱一伦麻豆| 日本护士╳╳╳hd少妇| 国产清纯在线一区二区www| 超级碰碰色偷偷免费视频| 精品无码综合一区二区三区| 欧美老熟妇喷水| 性色av免费观看| 日韩一区二区三区无码免费视频| 中文字幕制服丝袜第57页| 亚洲国产精品综合久久网各| 久久精品99av高久久精品| 国产色a在线观看| 18禁免费观看网站| 美女脱了内裤张开腿让男人桶网站|