美國 HVA 真空閘閥在氣體管路系統(tǒng)應(yīng)用
半導(dǎo)體工廠, 太陽能光伏, LED, 鍍膜等行業(yè)在工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng)(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 美國 HVA 真空閘閥廣泛用在氣體輸送環(huán)節(jié) (氣體管路系統(tǒng)) , 起到真空隔離密封作用.
美國 HVA 超過40年的閥門研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗, 上海伯東美國 HVA 閘閥口徑 DN 16 至 800 mm, 手動或氣動控制, 超高真空 1x10-10 mbar, 與友廠對比, HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S, 使用壽命 1,000,000 次(啟閉次數(shù)). 上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商.

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