晶圓鍵合機(jī)中的無油真空系統(tǒng)
晶圓鍵合機(jī)主要用于將晶圓通過真空環(huán)境, 加熱, 加壓等指定的工藝過程鍵合在一起, 滿足微電子材料, 光電材料及其納米等級微機(jī)電元件的制作和封裝需求. 晶圓鍵合機(jī)需要清潔干燥的高真空工藝環(huán)境, 真空度一般要求 5E-4 mbar 至 5E-8 mbar, 因?yàn)槿绻麉㈦s了其他氣體雜雜質(zhì), 會影響到器件的性能. 無油干式真空泵搭配分子泵是晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置.
上海伯東推薦適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的無油渦旋干泵, 抽速 6-20 m3/h, 低振動, 低噪音, 低能耗, 方便系統(tǒng)集成.

適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的渦輪分子泵, 抽速 10-1900 l/s, 高氣流量, 高抽速, 占用空間小, 方便系統(tǒng)集成.

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