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晶圓鍵合機(jī)中的無油真空系統(tǒng)(渦旋泵,渦旋分子泵)

價格:面議瀏覽:170次聯(lián)系:張婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企業(yè):伯東貿(mào)易(深圳)有限公司留言店鋪收藏

晶圓鍵合機(jī)中的無油真空系統(tǒng)
晶圓鍵合機(jī)主要用于將晶圓通過真空環(huán)境, 加熱, 加壓等指定的工藝過程鍵合在一起, 滿足微電子材料, 光電材料及其納米等級微機(jī)電元件的制作和封裝需求. 晶圓鍵合機(jī)需要清潔干燥的高真空工藝環(huán)境, 真空度一般要求 5E-4 mbar 至 5E-8 mbar, 因?yàn)槿绻麉㈦s了其他氣體雜雜質(zhì), 會影響到器件的性能. 無油干式真空泵搭配分子泵是晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置.
上海伯東推薦適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的無油渦旋干泵, 抽速 6-20 m3/h, 低振動, 低噪音, 低能耗, 方便系統(tǒng)集成.

普發(fā)渦旋干泵

型號

HiScroll 6

HiScroll 12

HiScroll 18

進(jìn)氣口

DN 25 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

抽速 m3/h

6.1

12.1

18.1

極限真空度 hPa
氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉

1.5 X 10-2

6 X 10-3

6 X 10-3

功耗 W

170

210…280

210…280

噪音 dB(A)

48

47

47

轉(zhuǎn)速 RPM

42Hz / 2,500 min-1

26Hz / 1,560 min-1

26Hz / 1,560 min-1

Gasballast-flow

(stage1/2)

8,000 sccm
11,000 sccm

12,000 sccm
20,000 sccm

12,000 sccm
20,000 sccm

尺寸 mm

380 x 227 x 257

419 x 265 x 304

419 x 265 x 304

重量 kg

19

24

23

 

適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的渦輪分子泵, 抽速 10-1900 l/s, 高氣流量, 高抽速, 占用空間小, 方便系統(tǒng)集成.

普發(fā)分子泵

型號

HiPace 80

HiPace 300

HiPace 700

進(jìn)氣口

DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
DN 40 ISO-K

DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
DN 100 ISO-F

DN 160 ISO-K
DN 160 CF-F
DN 160 ISO-F
 

氮?dú)獬樗?l/s

67

260

685

最大極限真空度 hPa

<5X10-10

<5X10-10

<5X10-10

電壓 ? 5 %, VDC

24

24

48

噪音 dB(A)

≤48

≤50

≤50

轉(zhuǎn)速 RPM ? 2 %

90000

60000

49200

最大預(yù)抽真空 hPa

22

15-22

11

重量 kg

2.4-3.8

5.8-8.7

10.6-16.5


上海伯東 Pfeiffer 德國普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商, 銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品 20余年. 可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù). 擁有100% 原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件, 提供快速維修服務(wù).

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